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IMD_ZIO

超高解像度画像処理装置 ZIO

 ■ZIO8025 5CCD original line sensor camera

  • 8000画素ラインセンサカメラ5台で、25レーン×20万ラインを撮像
    400億画素の画像を生成
  • 1000万穴以上のスルーホールをCADデータと比較
    スルーホールの位置ズレ、形状、サイズを計測
  • 検査ログをサーバーに出力
    NG箇所を他のリペア機で比較確認・修正
  • ライブ用500万画素カラーカメラを搭載
    NG箇所を処理前画像で閲覧可能
  • 高精度リニアサーボテーブルを採用
    CCDカメラとの同期により、位置測定が可能
  • 取得画層をLCDに高速表示
    マウスホイールにより拡大・縮小を行うことが可能

  ZIO1.png  ZIO2.png




| メタルマスク検査への適用例

ZIO3.png



1)CADファイルを読み込んだ直後
  まだ検査ワークはスキャンされていない


ZIO4.png



2)検査ワークをスキャンした
  画像の全体を表示している
  ここから欠陥箇所に向かってズームをしていく


ZIO5.png



3)画像を拡大しつつある
  各ブロックまで拡大した


ZIO6.png



4)欠陥箇所が見えるまで拡大した


ZIO7.png



5)2次元カメラで撮影した欠陥場所


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